运送装置及真空装置

摘要

一种在多个腔室彼此之间利用机器人手支撑基板并使其移动的运送装置，具备：第一检测机构，在所述机器人手的第一停止位置，在第一检测位置检测所述基板，该第一检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上；以及第二检测机构，在所述机器人手的第二停止位置，在第二检测位置检测所述基板，该第二检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上。

主权项

一种在多个腔室彼此之间利用机器人手支撑基板并使其移动的运送装置，其特征在于，具备：第一检测机构，在所述机器人手的第一停止位置，在第一检测位置检测所述基板，该第一检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上；以及第二检测机构，在所述机器人手的第二停止位置，在第二检测位置检测所述基板，该第二检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上，所述基板为圆板状的晶片，所述第一检测位置与所述第二检测位置被设定在所述基板的一面中的同心圆上，所述第一检测位置由两个检测点构成，所述第二检测位置由一个检测点构成，构成所述第二检测位置的所述一个检测点与两个所述第一检测位置距离相等且位于从两个所述第一检测位置观察时为所述基板上的相反侧的位置。