| 摘要 |
유체 분배 밸브, 예를 들어 유체 저장 및 분배 용기에 설치되는 유체 분배 밸브의 품질 보증 결정에 유용한 광전자 검사 시스템과, 그러한 품질 보증 결정을 위한, 관련된 방법론 및 기계 실행 가능한 명령들을 저장한 비일시적 컴퓨터 판독 가능 매체에 대해 설명되어 있다. 상기 광전자 검사는 반도체 제품, 평판 디스플레이 및 태양전지 패널의 제조에 사용되는 처리 유체를 공급하는 데 사용되는 것과 같은, 물리적 흡수력 기반의 용기 및/또는 압력 조절식 용기를 포함하는 유체 저장 및 분배 패키지에 사용되는 유동 제어 밸브에 적용할 수 있다. |
