一种微型被动流量调节阀及其制作工艺

摘要

本发明公开了一种微型被动流量调节阀及其制作工艺。该阀为五层基片堆叠结构，分别是包含有旁通流道的上盖板和下盖板、具有直通收缩流道的中间薄板以及上、下弹性薄膜。流量调节原理为利用上、下弹性薄膜在上、下盖板内的旁通流道流体的压力下产生弹性变形，从而改变中间薄板内收缩流道的截面积，即改变阀的流阻来补偿压强的变化，实现输出流量恒定。该阀实现恒定流量调节所需的驱动压强小(<50kPa)，输出流量大(～ml/min)，在需要提供恒定流量供给的需求方面，如药物传输系统、生物医疗诊断、集成微芯片实验室等领域具有广泛的应用价值。

主权项

一种微型被动流量调节阀，其特征在于：包括由上到下依次堆叠键合的上盖板(1)、上弹性薄膜(2)、中间薄板(3)、下弹性薄膜(4)以及下盖板(5)；所述上盖板(1)上设置有样品入口(11)、上蓄液池(12)、上旁通一级流道(13)、上旁通二级流道(14)、上压力腔(15)、样品出口(16)；所述样品入口(11)、上蓄液池(12)、上旁通一级流道(13)、上旁通二级流道(14)、上压力腔(15)依次相通；所述上弹性薄膜(2)上设置有上薄膜进液孔(21)和薄膜出液孔(22)；所述中间薄板(3)上设置有入口蓄液池(31)、直流道(32)、出口蓄液池(34)；所述直流道(32)上设置有收缩流道(33)；所述入口蓄液池(31)、直流道(32)、出口蓄液池(34)相通；所述上薄膜进液孔(21)的一端与上蓄液池(12)连接，而另一端与入口蓄液池(31)连接；所述薄膜出液孔(22)的一端与样品出口(16)连接，而另一端与出口蓄液池(34)连接；所述下弹性薄膜(4)上设置有下薄膜进液孔(41)；所述下盖板(5)上设置有下蓄液池(51)、下旁通一级流道(52)、下旁通二级流道(53)、下压力腔(54)；所述下蓄液池(51)、下旁通一级流道(52)、下旁通二级流道(53)、下压力腔(54)相通；所述下薄膜进液孔(41)的一端与入口蓄液池(31)连接，而另一端与下蓄液池(51)连接；所述上压力腔(15)位于收缩流道(33)的一侧，而所述下压力腔(54)位于收缩流道(33)的另一侧。