复合扩张模式谐振器

摘要

本发明提供与声学谐振器相关的系统、方法及设备，所述声学谐振器包含用于使得能够选择性地调谐一或多个声学或机电性质的复合转换层(116，118)。在一方面，谐振器结构包含一或多个第一电极(142)、一或多个第二电极(144)及布置于所述第一及第二电极之间的转换层(116，118)。所述转换层包含多个构成层。在一些实施方案中，所述构成层包含一或多个第一压电层及一或多个第二压电层。所述转换层经配置以响应于被提供到所述第一及第二电极的信号提供具有沿着z轴的位移分量的所述转换层的至少第一振动模式及具有沿着x轴及y轴的平面的位移分量的所述转换层的至少第二振动模式。

主权项

一种谐振器结构，其包括：包含一或多个第一电极的第一导电层；包含一或多个第二电极的第二导电层；及布置于所述第一导电层与所述第二导电层之间的转换层，所述转换层具有沿着z轴的厚度、沿着x轴的宽度及沿着y轴的长度，所述转换层包含多个构成层，所述多个构成层包含：各自由具有压电系数的第一集合及硬度系数的第一集合的第一压电材料形成的一或多个第一压电层的第一集合；及各自由具有压电系数的第二集合及硬度系数的第二集合的第二压电材料形成的一或多个第二压电层的第二集合；及其中所述转换层经配置以响应于被提供到所述第一电极及所述第二电极中的一或多者中的每一者的一或多个信号提供具有沿着所述z轴的位移分量的所述转换层的至少第一振动模式及具有沿着所述x轴及所述y轴的平面的位移分量的所述转换层的至少第二振动模式。