光照射装置

摘要

本发明提供于一种在规定工作距离内，可照射具有规定强度及强度分布的线形光线的光照射装置。一种对照射面上的规定照射位置照射在第1方向上延伸，且在第2方向上具有规定线宽的线形光线的光照射装置分别具有基板、在基板上沿着第1方向并排的光源、以成为平行光的方式对来自各光源的光线进行整形的光学元件的多个光学单元；多个光学单元由对照射面射出平行于第1方向的线形光线的多个第1光学单元以及多个第2光学单元组成；各第1光学单元被配置为射出光通过规定聚光位置，且在照射面上收敛于线宽内；各第2光学单元被配置为射出光在照射面上收敛于线宽内。在从照射位置到垂直上方的规定范围内，来自各光学单元的射出光的能量总和为大致一定。

主权项

一种光照射装置，其为对基准照射面上的规定照射位置，照射在第1方向上延伸，且在与上述第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光线的光照射装置，其特征在于，具备多个光学单元，其分别具有基板、在所述基板上沿着所述第1方向以规定间隔并排，使光轴的朝向对准与所述基板面正交的方向而配置的多个光源、以及被配置于所述各光源的光路上，将来自所述各光源的光线整形成大致平行光的多个光学元件；其中，所述多个光学单元，由对所述基准的照射面射出平行于所述第1方向的线形光线的多个第1光学单元以及多个第2光学单元构成；所述各第1光学单元被配置成从所述第1方向观察时，射出光通过所述照射位置的垂直上方的规定聚光位置，且在所述基准照射面上收敛于所述线宽内；所述各第2光学单元被配置成从所述第1方向观察时，射出光在所述基准的照射面上收敛于所述线宽内；在包含从所述照射位置至垂直上方的所述聚光位置的规定范围内，来自所述各第1光学单元的射出光的能量与来自所述各第2光学单元的射出光的能量的总和为大致一定。