一种极紫外激光的调Q装置及其使用方法

摘要

本发明涉及极紫外激光的调Q装置及其使用方法，包括光源，光源的一侧安装有分束片，驱动光束一侧安装有第一平移台，第一平移台内部安装有驱动透镜，第一平移台一侧安装有第一全反镜、第二全反镜和第三全反镜，第三全反镜下方安装有合束片；调Q光束一侧安装有第二平移台，第二平移台内部安装有调Q透镜，第二平移台的一侧安装有第四全反镜，第四全反镜的一侧安装有椭偏器，合束片的另一侧安装有气体盒，气体盒内有惰性气体，气体盒的内部还具有调Q焦点和驱动焦点，气体盒的外部安装有铝膜，铝膜的一侧为Q值可调的极紫外激光。本发明结构简单，操作简易，适用性强，不仅提供了极紫外激光输出的调Q新手段，而且将促进相关领域的深入发展。

主权项

一种极紫外激光的调Q装置，其特征在于：包括光源，所述光源的一侧安装有分束片，所述分束片将光源分成驱动光束和调Q光束，所述驱动光束的一侧安装有第一平移台，所述第一平移台内部安装有驱动透镜，第一平移台的一侧安装有第一全反镜，所述第一全反镜的下方安装有第二全反镜，所述第二全反镜的一侧安装有第三全反镜，所述第三全反镜的下方安装有合束片；所述调Q光束的一侧安装有第二平移台，所述第二平移台内部安装有调Q透镜，第二平移台的一侧安装有第四全反镜，所述第四全反镜的一侧安装有椭偏器，所述椭偏器位于合束片的一侧，所述合束片的另一侧安装有气体盒，所述气体盒内有惰性气体，气体盒的内部还具有调Q焦点和驱动焦点，气体盒的外部安装有铝膜，所述铝膜的一侧为Q值可调的极紫外激光，所述的气体盒、铝膜和极紫外激光均置于真空环境中。