一种可调薄膜预应力的膜基反射镜成形装置

摘要

本实用新型公开了一种可调节薄膜预应力的膜基反射镜成形装置，其外环与内环通过螺纹结构套合，内环与电极板底盖通过螺纹结构套合，内环底部设有用于旋转内环的把手；电极板底盖上开有通孔，方便电极板导线引出。薄膜成形时，外环与压环夹持薄膜成水平状，电极板底盖与内环由于采用了螺纹套合，可以通过内环与电极板底盖之间的位移来控制薄膜与电极板之间的距离，对电极板加压后，使薄膜成形；同时可根据加工时的环境温度，通过螺纹调节内环与外环之间的相对位移，改变内环高度，将薄膜顶起，实现对薄膜预应力的调节，从而能有效克服由环境造成的膜基反射镜面形偏离，提高膜基反射镜面形精度。该装置结构简单，操作方便、快捷，具有实用价值。

主权项

一种可调薄膜预应力的膜基反射镜成形装置，包括内环、外环、压环、电极板底盖、电极板、静电高压输出装置；其特征在于：外环与内环通过螺纹结构套合，内环与电极板底盖通过螺纹结构套合；电极板底盖上开有通孔。