一种基板固定装置及制作方法以及固定基板的方法

摘要

本发明公开了一种基板固定装置，用于将基板(1)固定在工艺设备中，所述基板固定装置上表面设置有基板容置槽(13)以固定所述基板(1)，所述基板固定装置的外形尺寸设置为使得其能够固定在所述工艺设备上。一种固定基板的方法。本发明通过在不同的工艺设备中采用基板固定装置，从而扩大了同一基板对不同工艺设备的适应范围，保证了基板在不同工艺设备中的准确定位，解决了同一基板在不同工艺设备中基板托架尺寸不一致引起的错位问题。

主权项

一种将基板固定在工艺设备中的固定基板的方法，其特征在于，使用基板固定装置，该基板固定装置包括定位板(2)，所述定位板(2)的上表面设置有基板容置槽(13)以固定所述基板(1)，所述基板(1)与所述定位板(2)通过定位凸起和与所述定位凸起相适配的定位凹槽连接；该固定基板的方法包括如下步骤：1)将基板(1)固定在所述基板固定装置中的基板容置槽(13)内，使所述基板固定装置中的工艺对位点(6)与基板(1)上的光学对位点(7)相对应；2)在基板固定装置和基板(1)之间放入粘性物质，使定位凹槽和定位凸起对位配合，使得基板固定装置和基板(1)位置相对固定，并使基板固定装置和基板(1)粘结固定；3)将置有基板(1)的基板固定装置固定在工艺设备的基板托架上，所述基板固定装置的外形尺寸设置为使得其能够固定在所述工艺设备上；或者，1)将所述基板固定装置固定在所述工艺设备的基板托架上，所述基板固定装置的外形尺寸设置为使得其能够固定在所述工艺设备上；2)将基板(1)固定在所述基板固定装置中的基板容置槽(13)内，使所述基板固定装置中的工艺对位点(6)与基板(1)上的光学对位点(7)相对应；3)在基板固定装置和基板(1)之间放入粘性物质,使定位凹槽和定位凸起对位配合，使得基板固定装置和基板(1)位置相对固定，并使基板固定装置和基板(1)粘结固定；其中：所述基板固定装置的制作方法包括如下步骤：A)选取一透明板作为基板固定装置，对其进行裁切，使其外形尺寸与基板(1)所在工序的工艺设备中基板托架的尺寸相适；B)选取一透明板制成的掩模板(9)覆盖在基板固定装置上，所述掩模板(9)设置有与基板(1)的外形尺寸相适配的基板容置槽标记(10)、在所述基板容置槽标记(10)的区域内的光学对位标记(12)和与光学对位标记(12)具有固定位置关系的定位标记(8)、在基板容置槽标记(10)的区域外的工艺对位标记(11)；C)利用掩模板(9)上的工艺对位标记(11)在基板固定装置上制作工艺对位点(6)；D)以工艺对位点(6)为基点，利用掩模板(9)上的基板容置槽标记(10)在基板固定装置的上表面开设基板容置槽(13)，所述基板容置槽(13)的深度与其所固定的基板(1)的高度相适配。