一种光栅线宽比测量方法

摘要

本发明提出一种光栅线宽比测量方法，包括：提供SEM仪器以及已知线宽比的光栅；将一直线宽比的光栅放置于SEM仪器的载物台，调节放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录形状参数，计算当前放大倍数下扫描线的线宽比，最终标定出一系列不同放大倍数下的SEM仪器扫描线线宽比；将未知线宽比的光栅放置于SEM载物台，调节SEM仪器的放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录形状参数，查询前面标定得到当前放大倍数下SEM仪器扫描线的线宽比，结合反演方法计算得到未知线宽比的光栅的线宽比。本发明具有灵敏度高、测量视场大，以及SEM分辨率高、对样品无损伤、空间定位方便等优点，并且具有操作简单，过程快速、表征区域大、检测成本低等优点。

主权项

一种光栅线宽比测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.提供SEM仪器以及已知线宽比为O₀的光栅，将SEM仪器的扫描线视为试件栅，将已知线宽比为O₀的光栅视为参考栅，二者叠加能够形成云纹；S2.将所述参考栅放置于SEM仪器的载物台中央，调节SEM仪器的放大倍数x直至形成清晰地云纹条纹，记录此时云纹条纹的形状参数，根据所述O₀和所述形状参数计算当前放大倍数x下SEM仪器扫描线的线宽比O_a，最终得到一系列x与O_a的映射关系，即标定出不同放大倍数下的SEM仪器扫描线线宽比；S3.将未知线宽比的光栅放置于SEM仪器的载物台中央，调节SEM仪器的放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录此时云纹条纹的形状参数，查询所述S2中标定得到当前放大倍数下SEM仪器扫描线的线宽比，结合反演方法计算得到未知线宽比的光栅的线宽比为O_b。