| 发明名称 | 机器人系统及检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种机器人系统及检测方法，可以高精度地检测出基板的载放状态。具体而言，如下构成机器人系统，使其具备：臂，将基板搬运至载放台；手，设置在臂的前端部，在搬运时保持基板；检测部，设置在手上并检测基板；及取得部，根据检测部在第1位置检测出的基板的高度和在第2位置检测出的基板的高度，取得载放台上的基板的载放状态。 | ||
| 申请公布号 | CN104723362A | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201410690899.4 | 申请日期 | 2014.11.25 |
| 申请人 | 株式会社安川电机 | 发明人 | 胜田信一;木村吉希 |
| 分类号 | B25J19/02(2006.01)I;B25J19/00(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | B25J19/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;王玉玲 |
| 主权项 | 一种机器人系统，其特征在于，具备：臂，将基板搬运至载放台；手，设置在所述臂的前端部，在搬运时保持所述基板；检测部，设置在所述手上并检测所述基板；及取得部，根据所述检测部在第1位置检测出的所述基板的高度和在第2位置检测出的所述基板的高度，取得所述载放台上的所述基板的载放状态。 | ||
| 地址 | 日本福冈县 | ||