集成型气体供给装置

摘要

本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。

主权项

一种集成型气体供给装置，其特征在于，通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上对置状地组合固定设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3），并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个系统的气体供给线路（S）的气体供给单元（U），并成为将多台该气体供给单元（U）堆叠固定的结构。