发明名称 |
基板固定装置 |
摘要 |
本发明提供了一种基板固定装置,属于显示技术领域,能够避免基板在镀膜过程中与金属框架导通而产生异常放电现象,从而提高镀膜效果。所述基板固定装置,包括金属框架主体,所述金属框架主体的部位设有与所述基板上待镀膜区域一致的通孔,沿所述通孔的边缘在所述金属框架主体上设有用于承载所述基板的凹槽,所述凹槽沿所述金属框架主体的厚度方向向所述金属框架主体内部凹陷,在所述凹槽的底部环设有第一绝缘垫。本发明可用于立式镀膜工艺中。 |
申请公布号 |
CN104726839A |
申请公布日期 |
2015.06.24 |
申请号 |
CN201510142563.9 |
申请日期 |
2015.03.27 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
王华龙 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种基板固定装置,其特征在于,包括金属框架主体,所述金属框架主体的中央部位设有与所述基板上待镀膜区域一致的通孔,沿所述通孔的边缘在所述金属框架主体上设有用于承载所述基板的凹槽,所述凹槽沿所述金属框架主体的厚度方向向所述金属框架主体内部凹陷,在所述凹槽的底部环设有第一绝缘垫。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |