发明名称 蓝宝石衬底研磨装置
摘要 本实用新型公开了一种蓝宝石衬底研磨装置,包括:加工平台,所述加工平台上依次设置有加压圆盘、研磨圆盘和抛光圆盘,所述加压圆盘的表面上连接腊盒,所述腊盒的表面均布有出腊孔,所述研磨圆盘上方连接有一冷却液槽,所述抛光圆盘表面设置有聚氨酯板。通过上述方式,本实用新型蓝宝石衬底研磨装置能够减少研磨过程造成的缺角和裂痕,降低研磨过程的温度,保证了蓝宝石的研磨质量,提高了蓝宝石的稳定性,保证蓝宝石表面的光滑度和整洁度。
申请公布号 CN204413835U 申请公布日期 2015.06.24
申请号 CN201420802877.8 申请日期 2014.12.18
申请人 无锡科诺达电子有限公司 发明人 黄根友
分类号 B24B37/00(2012.01)I;B24B37/11(2012.01)I;B24B29/02(2006.01)I;B24B37/34(2012.01)I 主分类号 B24B37/00(2012.01)I
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人 刘述生
主权项 一种蓝宝石衬底研磨装置,其特征在于,包括:加工平台,所述加工平台上依次设置有加压圆盘、研磨圆盘和抛光圆盘,所述加压圆盘的表面上连接腊盒,所述腊盒的表面均布有出腊孔,所述研磨圆盘上方连接有一冷却液槽,所述抛光圆盘表面设置有聚氨酯板。
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