PECVD石墨舟用石墨钉

摘要

本实用新型提供一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体，基体上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体；菱形体内收缩部位用于卡住硅片，改进之处在于：基体的前后侧面为竖立平面，而基体的左右侧具有弧形侧面；或者，石墨钉基体的形状为椭圆体型或长方体型。优选地，石墨钉基体的前后侧面为平行平面。本实用新型的优点在于：1）解决了管式PECVD石墨钉角度安装不到位，导致镀膜异常问题。2）采用石墨钉非正圆形设计方案，能够固定装配角度。3）石墨钉安装过程简单化，防止出错，石墨钉角度安装到位。

主权项

一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体(31)，基体(31)上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体(32)；菱形体(32)内收缩部位用于卡住硅片；其特征在于：基体(31)的前后侧面为竖立平面，而基体(31)的左右侧具有弧形侧面；或者，石墨钉基体(31)的形状为椭圆体型或长方体型。