| 发明名称 | 批处理式基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种批处理式基板处理装置(10)。本发明涉及的批处理式基板处理装置(10)，作为对多个基板(50)进行处理的批处理式基板处理装置(10)，其特征在于，包括：主体(100)，其包括装载或卸载多个基板(50)的多个插槽(s)和提供基板处理空间的腔室(105)；以及门单元(110、120)，配置在主体(100)的正面，用于开闭至少一个插槽(s)。 | ||
| 申请公布号 | CN104733353A | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201410814878.9 | 申请日期 | 2014.12.23 |
| 申请人 | 泰拉半导体株式会社 | 发明人 | 绁竣淏;林铉沃;金楠暻;廉贤真;朴暻完 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 姜虎;陈英俊 |
| 主权项 | 一种批处理式基板处理装置，对多个基板进行处理，其特征在于，包括：主体，其包括装载或卸载所述多个基板的多个插槽和作为基板处理空间的腔室；以及门单元，配置在所述主体的正面，用于开闭至少一个所述插槽。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||