连续生产单晶的设备

摘要

本发明涉及单晶生产技术领域，公开了一种连续生产单晶的设备。本发明一种连续生产单晶的设备，包括底座、主炉室、炉盖组件、立柱和至少两个副室，每个副室的顶部固定连接有提拉头装置，并配有连续加料装置。优选地，所述副室设置为两个，所述两个副室分别位于立柱的两侧，分别通过可升降和旋转的连接机构与所述立柱相连。本发明采用至少两个副室进行交替拉晶的工作，当其中的一个处于拉晶状态时，其它副室和连续加料装置作生产准备，从而节约了时间，提高了生产效率，辅之以连续加料，形成了连续的单晶生产过程，使得消耗一个坩埚可拉制多根单晶，使得在副室交替更换和连续加料时维持主炉室的温度，进一步节约了能源，降低了生产成本。

主权项

一种连续生产单晶的设备，包括底座、主炉室、立柱、炉盖组件和顶部固定连接有提拉头装置的副室，所述副室与炉盖组件的顶部相连，其特征在于，所述副室设置为至少两个，每个副室分别通过可升降和旋转的连接机构与所述立柱连接，所述至少两个副室交替进行拉晶；所述主炉室的外侧设有加料装置，所述加料装置通过波纹管组件与所述炉盖组件相连；所述副室设置为两个，所述两个副室分别位于立柱的两侧，分别为第一副室和第二副室，所述第一副室和第二副室分别通过可升降和旋转的第一连接机构和第二连接机构与所述立柱相连；所述第二连接机构包括第二支臂、第二支撑、第二顶升轴、第二凸台和第二顶升机构；所述第二顶升轴通过第二支撑固定在所述立柱的另一侧，所述第二副室通过第二支臂与第二顶升轴连接，第二凸台设置在所述第二顶升轴上位于第二支臂的下方，所述第二顶升机构驱动第二顶升轴向上运动使得第二凸台抵住所述第二支臂从而带动第二副室做提升运动，所述第二副室可绕第二顶升轴转动；所述炉盖通过第三支臂连接到第二顶升轴上，所述第三支臂位于第二顶升机构的上方；所述第二顶升轴上位于第三支臂的下方设有第三凸台，所述第三凸台距第三支臂的距离大于第二凸台距第二支臂的距离；炉盖组件可绕第二顶升轴转动。