用于估计及校正偏移目标不准确度的方法

摘要

本发明的方面描述用于通过使用比例因数来校准计量工具的系统及方法。可通过在不同测量条件下测量衬底来获得所述比例因数。接着计算测量计量值及一或多个质量优值。可从此信息确定比例因数。其后，可使用所述比例因数来量化计量测量中的不准确度。还可使用所述比例因数来确定优化测量配方。应强调，提供此摘要以遵从需要将允许搜索者或其它读者快速确定本技术揭示内容的标的物的摘要的规则。提交所述摘要，应理解其将不用以解释或限制权利要求书的范围或意义。

主权项

一种非暂时性计算机可读媒体，其含有用于产生适合于校准计量工具的一或多个比例因数的程序指令，且其中通过计算机系统的一或多个处理器来执行所述程序指令致使所述一或多个处理器进行以下步骤：针对跨越衬底分布的多个测量位置中的每一测量位置获得多个计量测量信号，其中针对每一测量位置所获得的所述多个测量信号中的每一者是由计量工具在多个不同测量条件中的一者下测量所述测量位置而产生；确定每一测量信号的测量计量值及一或多个质量优值；利用所述测量计量值及所述质量优值来确定各对应于所述多个不同测量条件中的一者的比例因数；及校准所述计量工具以在产生后续计量测量值时使用对应于用以测量后续目标的所述测量条件的所述比例因数。