一种回收SiF₄气体综合利用方法

摘要

本发明涉及化工原料生产过程废气回收综合利用技术，尤其是一种回收SiF₄气体综合利用方法，将含有SiF₄气体的废气通过引风机引入吸收塔，并用缓冲溶液从吸收塔顶端喷入吸收废气中的SiF₄气体，流入吸收塔底部形成固液混合物；再将吸收塔底部的固液混合物转入压滤机中进行固液分离，得到滤饼和滤液；再用水泵将滤液抽提到吸收塔的顶端与缓冲溶液混合喷淋，并将滤饼用清水清洗5-6次后通过干燥机干燥制得纳米水合二氧化硅。本发明降低F、Si元素的资源浪费率，简化工艺流程，避免设备堵塞，提高SiF₄气体的综合利用率，避免了设备被腐蚀，降低了生产成本。

主权项

一种回收SiF₄气体综合利用方法，其特征在于包括以下步骤：将含有SiF₄气体的废气通过引风机引入吸收塔，将缓冲溶液从吸收塔顶端喷入吸收废气中的SiF₄气体，然后流入吸收塔底部形成固液混合物；再将吸收塔底部的固液混合物转入压滤机中进行固液分离，得到滤饼和滤液；再用水泵将滤液抽提到吸收塔的顶端与缓冲溶液混合喷淋，并将滤饼用清水清洗5‑6次后通过干燥机干燥制得纳米水合二氧化硅；所述缓冲溶液按照氟化铵1‑10g，正丁醇0.2‑2.5g，NaCl 0.1‑2g，浓度为1％‑25％的氨水5‑40ml，水40‑60ml的配比比例配制而成。