| 摘要 |
담체에 금속 촉매를 담지시킬 때, 금속 촉매의 입자 직경의 편차가 발생하는 것을 억제할 수 있는 기술을 제공한다. 처리실(101) 내에 담체인 카본 나노튜브(11)[CNT(11)]가 배열된 CNT 기판(10)을 배치한다. 처리실(101)에 이산화탄소를 공급한다. 처리실(101)의 이산화탄소를 초임계 상태로 한 후, 처리실(101)에 백금의 착체가 용해된 착체 용액을 공급한다. CNT(11)의 온도인 샘플 온도(T)를, 처리실(101) 내의 분위기 온도(T)보다 높게 한다. 분위기 온도(T)와 샘플 온도(T) 사이의 온도차(ΔT)가 감소와 증대를 반복하도록, CNT 기판(10)을 가열한다. 초임계 유체의 초임계 상태를 해제한 후에, CNT 기판(10)을 가열하여, CNT의 표면에 금속 촉매를 석출시킨다. |
