| 摘要 |
본 발명은 가열 소자를 구비하는 마이크로전기 기계-유형의 센서 소자를 포함하는 공기 질량 센서에 관한 것이다. 제1 온도 센서 소자가 센서 소자에서 상기 가열 소자의 업스트림에 배열되고, 제2 온도 센서 소자가 센서 소자에서 상기 가열 소자의 다운스트림에 배열된다. 상기 제1 온도 센서 소자는 제1 폭(BT1)과 제1 길이(LT1)를 지니고, 상기 제2 온도 센서 소자는 제2 폭(BT2)과 제2 길이(LT2)를 지닌다. 상기 센서 소자에 존재하는 먼지로 인해 야기된 잘못된 측정 결과를 제거하거나 적어도 거의 제한하기 위하여, 상기 제1 온도 센서 소자의 제1 폭(BT1)은 상기 제2 온도 센서 소자의 제2 폭(BT2)보다 더 크다. |
