| 摘要 |
본 발명은 분자 접착에 의한 접합 방법에 대한 것으로서, 밀폐된 베슬(hermetically-sealed vessel,210) 내에서 제1 및 제2 웨이퍼(202, 206)를 위치시키는 단계, 400 hPa과 동일 또는 미만의 제1 압력(P1)으로 베슬(210)의 진공(evacuation) 단계, 드라이 가스(214)의 주입에 의하여 제1 압력(P1)보다 더 큰 제2 압력으로 베슬 내의 압력의 조정 단계, 및 제1 및 제2 웨이퍼(202, 206)를 접촉시켜 베슬을 제2 압력(P2)에서 유지하는 동안 두 웨이퍼 사이에서 접합 파장의 전파의 개시단계를 포함한다. |
