| 发明名称 | 一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器和一种振膜 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器和一种振膜。本实用新型提供的振膜上设有在外气压超过预设值后开启的泄气结构。本实用新型提供的技术方案能解决现有的MEMS振膜在突然受到大的气压冲击时如吹气，容易造成破损的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN204425633U | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201420741105.8 | 申请日期 | 2014.11.28 |
| 申请人 | 歌尔声学股份有限公司 | 发明人 | 蔡孟锦;邱冠勋;周宗燐;宋青林 |
| 分类号 | H04R9/02(2006.01)I;H04R9/06(2006.01)I | 主分类号 | H04R9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝;吴昊 |
| 主权项 | 一种振膜，其特征在于，所述振膜上设有在外气压超过预设值后开启的泄气结构。 | ||
| 地址 | 261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号 | ||