掩膜版、滤光板及其制造方法、IPS/FFS液晶显示装置

摘要

一种掩膜版、滤光板及其制造方法、IPS/FFS液晶显示装置，该掩膜版包括：基板；位于基板上的挡光层，挡光层设有：第一图案区域、被第一图案区域包围的第二及第三图案区域；第一图案区域用于形成平坦层、并具有多个第一开口，第一开口内填充有半透膜；第二、第三图案区域分别用于形成主间隔柱、副间隔柱。利用该掩膜版对光阻层进行曝光时，能够形成三种曝光强度，因而可以在同一道制程中形成滤光板上的具有段差的主间隔柱、副间隔柱及平坦层，减少了消耗的原材料及能源，缩短开发和生产周期；另外，由于在同一道制程中形成的平坦层、主间隔柱和副间隔柱为一体结构，不会出现间隔柱剥离的问题。

主权项

一种用于形成滤光板的掩膜版，其特征在于，包括：基板；位于所述基板上的挡光层，所述挡光层设有：第一图案区域、被第一图案区域包围的第二图案区域及第三图案区域；所述第一图案区域用于形成平坦层、并具有多个第一开口，所述第一开口内填充有半透膜；所述第二图案区域用于形成主间隔柱；所述第三图案区域用于形成副间隔柱。