| 发明名称 | 步进石英舟 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种步进石英舟，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。本发明通过调整石英舟的舟槽间距，确保了石英舟上装载的晶圆在炉管的不同位置都能与外界氛围充分接触；同时，舟槽与垂直方向成一定角度倾斜，避免了相邻晶圆搭片，如此改善了炉管内里和炉口的掺杂或氧化的一致性。 | ||
| 申请公布号 | CN104733360A | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201310724124.X | 申请日期 | 2013.12.24 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 陈瑜;王黎;陈华伦 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 丁纪铁 |
| 主权项 | 步进石英舟，其特征在于，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||