面发光激光器以及原子振荡器

摘要

本发明提供面发光激光器以及原子振荡器。面发光激光器包括：层叠体、设置于上述层叠体的至少一部分的上方的绝缘层、至少一部分设置于上述层叠体上方的电极、焊盘、以及将上述电极与上述焊盘电连接的配线，上述层叠体包括第一反射镜层、活性层以及第二反射镜层，在俯视观察下，上述层叠体具有第一变形施加部、第二变形施加部以及设置于上述第一变形施加部与上述第二变形施加部之间的共振部，在俯视观察下，上述电极设置为覆盖上述共振部的至少一部分，在俯视观察下，上述配线的宽度比上述第一变形施加部的宽度宽，且比上述电极的宽度窄。

主权项

其特征在于，包括：基板；层叠体，其设置于所述基板上方；绝缘层，其设置于所述层叠体的至少一部分的上方；电极，该电极的至少一部分设置于所述层叠体上方；焊盘，其被引线接合；以及配线，其将所述电极与所述焊盘电连接，所述层叠体包括：设置于所述基板上方的第一反射镜层、设置于所述第一反射镜层上方的活性层、以及设置于所述活性层上方的第二反射镜层，在俯视观察下，所述层叠体具有：第一变形施加部、第二变形施加部、以及设置于所述第一变形施加部与所述第二变形施加部之间并使在所述活性层产生的光共振的共振部，在俯视观察下，所述绝缘层设置为覆盖所述第一变形施加部的至少一部分，在俯视观察下，所述电极设置为覆盖所述共振部的至少一部分，在俯视观察下，所述配线设置为覆盖所述第一变形施加部的至少一部分的宽度方向的整体，在俯视观察下，所述配线的宽度比所述第一变形施加部的宽度宽，且比所述电极的宽度窄。