薄膜封装方法及薄膜封装结构、显示装置

摘要

本发明提供了一种薄膜封装方法及薄膜封装结构、显示装置，属于封装结构及封装方法领域，能够有效防止水氧入侵显示器件，并提高显示器件耐弯折性。所述薄膜封装方法，包括：1)将待封装器件置于等离子体增强化学气相沉积装置中，设置掩膜板以控制封装区域，遮蔽无需封装的区域；2)调整通入等离子体增强化学气相沉积装置中的气体，沉积无机硅材料膜层；3)调整通入等离子体增强化学气相沉积装置中的N₂，在所述无机硅材料膜层上利用与无机硅材料发生化学反应的有机材料沉积有机硅烷膜层。本发明可用于薄膜封装结构以及显示装置的制作中。

主权项

一种薄膜封装方法，其特征在于，包括：1)将待封装器件置于等离子体增强化学气相沉积装置中，设置掩膜板以控制封装区域，遮蔽无需封装的区域；2)调整通入等离子体增强化学气相沉积装置中的气体，沉积无机硅材料膜层；3)调整通入等离子体增强化学气相沉积装置中的N₂，在所述无机硅材料膜层上利用与无机硅材料发生化学反应的有机材料沉积有机硅烷膜层。