发明名称 炭化珪素ショットキバリアダイオードの製造方法
摘要
申请公布号 JP5738376(B2) 申请公布日期 2015.06.24
申请号 JP20130207209 申请日期 2013.10.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/329;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 H01L21/329
代理机构 代理人
主权项
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