一种宽视场高分辨率投影物镜

摘要

本发明公开了一种宽视场高分辨率投影物镜，其从物侧到像侧依次包括第一、第二、第三镜组。在第一、第三镜组之间设置有光阑。在第二镜组中，至少含有两个空气透镜满足：|(r21-r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd21-Vd22)|＞28，|(nd21-nd22)|＞0.09。空气透镜两侧的透镜表面的曲率半径、色散系数、d线折射率分别为r21、r22、Vd21、Vd22、nd21、nd22。且第二镜组至少含有二个正透镜在室温条件下满足dn/dt＜0。n为折射率，t为温度。像侧具有面向物侧的凹球面，且满足：αin<NA/β，0.8<Lpout/Rim<1.2。

主权项

一种宽视场高分辨率投影物镜，其从物侧(P1)到像侧(P2)依次包括第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)；其中，在第二镜组(G2)中，满足关系式：Vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且Vd＞62的正透镜最少有两个，nd＞1.50且Vd＜55的负透镜最少有一个；其中，Vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数，nF为波長486nm的F线折射率，nd为波長587nm的d线折射率，nC为波長656nm的C线折射率；第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)各镜组之间满足关系式：0.3<f1/fa<2.8，0.25<f2/fa<2.5，0.25<‑f3/fa<5.5；其中，f1为第一镜组(G1)的组合焦距，f2为第二镜组(G2)的组合焦距，f3为第三镜组(G3)的组合焦距，fa为整个投影物镜的组合焦距；其特征在于：在第一镜组(G1)与第三镜组(G3)之间设置有光阑(AS)；在第二镜组(G2)中，至少含有两个空气透镜满足关系式：|(r21‑r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd21‑Vd22)|＞28，|(nd21‑nd22)|＞0.09；其中，r21、r22分别为空气透镜两侧的透镜表面的曲率半径，Vd21、Vd22分别为空气透镜两侧的透镜的色散系数，nd21、nd22分别为空气透镜的两侧的透镜的d线折射率；且第二镜组(G2)至少含有二个正透镜在室温条件下满足：dn/dt＜0；其中，n为折射率，t为温度，dn/dt为光学材料的折射率随温度变化的折射率温度系数；像侧(P2)具有面向物侧(P1)的凹球面，且满足：αin<NA/β，0.8<Lpout/Rim<1.2；其中，αin为投影物镜的主光线在像侧(P2)的入射角，NA为投影物镜的物方数值孔径，β为投影物镜的放大倍率，取正值，Lpout为投影物镜像方出瞳距离，Rim像面凹球面的曲率半径。