便于观察表面微缺陷的硅棒放置架

摘要

一种便于观察表面微缺陷的硅棒放置架，包括顶部敞口的水槽，其特殊之处是：所述水槽的内底面为内凹状，在所述水槽的内底面的最低点处设有排水通道；在水槽一侧设有挡板，在挡板前后两端铰接有支臂，在支臂上设置水管，所述水管上设有进水口和朝向水槽的多个出水孔；在水槽的前、后槽壁上沿水平方向分别设有滑道，在两个滑道内穿过两根支撑轴，两根支承轴上分别设置有多个滚轮，且每根支撑轴的两个穿出端通过螺纹连接有锁紧螺母。本实用新型能够在同一环境中全面地进行位错观察，保证了检测标准的一致性，防止漏检，以便采取后序处理措施，并且操作方便，节省人力；通用性强，适合从10英寸到20英寸的硅棒检测，能够提高检测效率，降低生产成本。

主权项

便于观察表面微缺陷的硅棒放置架，包括顶部敞口的水槽，其特征是：所述水槽的内底面为内凹状，在所述水槽的内底面的最低点处设有与外界相通的排水通道；在水槽一侧设有挡板，在挡板前后两端铰接有支臂，在支臂上设置水管，所述水管上设有进水口和朝向水槽且均布的多个出水孔；在水槽的前、后槽壁上沿水平方向分别设有滑道，在两个滑道内穿过两根支撑轴，两根支承轴上分别设置有多个滚轮，且每根支撑轴的两个穿出端通过螺纹连接有锁紧螺母。