TENSIONER AND TENSIONING METHOD OF FLEXIBLE SUBSTRATE

摘要

인장 장치에 탑재된 상태에서 처리 전, 처리 동안 및 처리 후에 평탄도를 확보하도록 폴리이미드 혹은 기타 필름 등의 가요성 기판을 재현가능하면서 가역적으로 인장시키는 것을 돕는 장치 및 방법.