用于构造薄膜反射镜的方法和装置

摘要

提供用于构造薄膜反射镜的系统和方法。该装置包括具有边缘的真空腔室。至少一个具有边缘的扩展器邻近该真空腔室，该扩展器的边缘在两个方向上与真空腔室的邻近边缘隔开并延伸超出真空腔室的邻近边缘。以这种方式，该薄膜未与该真空腔室接触，直到向该薄膜施加力，例如通过机械拉紧机构或施加部分真空来施加力。

主权项

一种用于构造薄膜反射镜的装置，所述装置包括：具有边缘的真空腔室；邻近所述真空的第一扩展器，所述第一扩展器具有边缘，所述第一扩展器的边缘在两个方向上与所述真空腔室的所述边缘隔开并延伸超出所述真空腔室的所述边缘；在与所述第一扩展器相对的一侧大体上邻近所述真空腔室的第二扩展器，所述第二扩展器具有边缘，所述第二扩展器的边缘在两个方向上与所述真空腔室的所述边缘隔开并延伸超出所述真空腔室的所述边缘；其中，从所述第一扩展器的边缘延伸到所述第二扩展器的边缘的线不会与所述真空腔室的所述边缘相交。