铁氧体基板FePt永磁薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及磁性薄膜材料的制备工艺领域，特别涉及一种铁氧体基板FePt永磁薄膜的制备方法，包括如下步骤：（A）将基片放入盛有去离子水的结晶皿中，用超声波清洗机清洗，再将基片放入盛有去离子水的陶瓷坩埚中，在可调功率设备上加热至去离子水沸腾，最后用竹镊子将基片放于红外灯下烘烤;（B）用N2气枪吹N2气洁净基片，用镊子把基片放置在基片托上；给预真空室充气；给预真空室排气。本发明的有益效果是：磁控溅射沉积速率适中；所获薄膜与基片的结合力较好；薄膜的致密度高；膜层厚度可控。

主权项

一种铁氧体基板FePt永磁薄膜的制备方法，其特征在于:包括如下步骤：（A）将基片放入盛有去离子水的结晶皿中，用超声波清洗机清洗，再将基片放入盛有去离子水的陶瓷坩埚中，在可调功率设备上加热至去离子水沸腾，最后用竹镊子将基片放于红外灯下烘烤;（B）用N2气枪吹N2气洁净基片，用镊子把基片放置在基片托上；给预真空室充气；给预真空室排气;（C）将基片由预真空室传入至成膜室;（D）等待成膜室的压强达到要求时，制备薄膜;（E）将基片由成膜室传出至预真空室，给预真空室充气，取出基片；（F）用N2气清洁基片，放入坩埚，在退火炉中进行高温退火处理，退火的同时在垂直膜面方向施加强磁场;（G）取片。