光扫描仪及其制造方法、反射镜芯片以及图像形成装置

摘要

本发明提供一种光扫描仪及其制造方法、反射镜芯片以及图像形成装置，其具备：光反射构件，其具有光反射面；可动部，其具备上述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；4个可动梁，它们从上述可动部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可动部的俯视中沿上述可动部的周向以90度的间隔设置；位移部，其与上述可动梁连结；2个驱动梁，它们从上述位移部起与上述可动梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其连结着上述驱动梁；内框部，其形成于上述位移部；永久磁铁，其固定于上述内框部；驱动部，其驱动上述位移部，上述可动梁具有使上述可动梁沿与上述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。

主权项

一种光扫描仪，其特征在于，具备：光反射构件，其具有光反射面；可动部，其具备所述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；4个可动梁，它们从所述可动部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可动部的俯视中沿所述可动部的周向以90度的间隔设置；位移部，其与所述可动梁连结；2个驱动梁，它们从所述位移部起与所述可动梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；固定部，其连结所述驱动梁；内框部，其贯通所述位移部；永久磁铁，其固定于所述内框部；驱动部，其驱动所述位移部，所述2个驱动梁分别与不同的所述固定部连结，所述可动梁具有使所述可动梁沿与所述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。