| 摘要 |
<p>진공과 대기압 사이에서 복수의 피가공재를 이송하기 위한 이온 주입 장치, 시스템, 및 방법이 제공되며, 정렬 기구는 이중 피가공재 로드록 챔버로 일반적으로 동시에 이송하기 위해 복수의 피가공재를 정렬시키도록 작동할 수 있다. 정렬 기구는 특징화 장치, 엘리베이터, 및 두 개의 피가공재를 지지하기 위한 두 개의 수직 정렬되는 피가공재 지지대를 포함한다. 제 1 및 제 2 대기압 로봇은 로드록 모듈, 정렬 기구 및 FOUP 사이로 한번에 두 개의 피가공재를 일반적으로 동시에 이송시키도록 구성된다. 제 3 및 제 4 진공 로봇은 로드록 모듈과 처리 모듈 사이로 한번에 하나의 피가공재를 이송하도록 구성된다.</p> |
