相位调制型微镜阵列可编程菲涅尔波带片及其变焦方法

摘要

本发明涉及MOEMS光调制器技术领域，更具体的说，本发明涉及一种MOEMS相位调制型微镜阵列可编程菲涅尔波带片及其变焦方法:利用MOEMS相位调制型微镜对光的相位调制能力和阵列调制器对光场的二维空间调制能力，通过编程控制MEOMS微镜阵列中特定分组单元的开关,生成参数可调的反射式位相型菲涅尔波带片，完成调焦功能，形成的微镜阵列可编程位相型菲涅尔波带片作为变焦距光学系统使用具有结构简单、体积小、重复性好、精度高、工作频带宽、布线和驱动简单、光学效果好、光学误差小的优点，可广泛应用于显微镜、数码相机、望远镜等精密光学成像设备。

主权项

相位调制型微镜阵列可编程菲涅尔波带片其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的下电极、绝缘层、简支梁、支撑锚、微镜镜面、电极地址控制驱动电路；所述微镜镜面通过支撑锚支撑于简支梁上方，作为上电极的简支梁支撑于绝缘层和下电极上方，所述电极地址控制驱动电路，按照事先计算好的电极地址选择施加电压的微镜单元构成不同参数的圆环菲涅尔波带片图形，每一个菲涅耳波带圆环由一定数量连续的微镜单元组成。