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<p>스루풋 또는 시료의 처리 효율을 향상시킨다. 임의의 한 매의 웨이퍼가 상기 카세트로부터 반출되기 전에 반송 경로 상에 존재하는 반송 중의 상기 웨이퍼의 매수가 소정의 값 이하인지 판정하는 매수 판정 공정과, 처리될 예정의 진공 반송 용기 내에 존재하는 상기 웨이퍼의 잔여 처리 시간과 상기 반송 경로 상에 존재하는 반송 중의 상기 웨이퍼의 처리 시간의 합계가 소정의 값 이하인지 판정하는 잔여 처리 시간 판정 공정과, 상기 매수 판정 공정 또는 상기 잔여 처리 시간 판정 공정의 조건을 만족하지 않는 경우에는 상기 반송 순서에 따라 상기 임의의 한 매의 웨이퍼보다 후의 상기 웨이퍼에 대하여 상기 매수 판정 공정 및 상기 잔여 처리 시간 판정 공정을 실시하고, 최초로 이들 공정의 조건을 만족한 상기 웨이퍼를, 상기 임의의 한 매의 웨이퍼로 교체하여 다음으로 상기 카세트로부터 반출하는 웨이퍼로 다시 결정하는 반송 순서 스킵 공정을 구비하였다.</p> |
