Instalación óptica de medición de la posición

摘要

Instalación óptica de medición de la posición para la detección de la posición de dos objetos móviles relativamente entre sí a lo largo de al menos una dirección de medición (x) con - una incorporación de medición (10), que está conectada con uno de los dos objetos y comprende una división incremental (12) que se extiende en la dirección de medición (x), - una unidad de exploración (20), que está conectada con el otro de los dos objetos y comprende una fuente luminosa (23), una o varias rejillas así como una disposición de detectores (27; 127), en la que - la disposición de detectores (27; 127) está constituida por varios grupos de elementos detectores (27.1 - 27.4; 127-1 - 127.4) dispuestos en un plano de detección, a través de los cuales se pueden generar en el caso del movimiento relativo de los dos objetos a partir de la exploración de un patrón de franjas periódico que resulta en el plano de detección varias señales de exploración desfasadas, en función de la posición y los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) con señales de exploración en concordancia de fase, respectivamente, un grupo, - la suma de las superficies de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) de un grupo es idéntica con la suma de las superficies de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) de cada uno de los otros grupos y - el centro de gravedad de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) de un grupo es idéntico con el centro de gravedad de las superficies de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) de cada uno de los otros grupos y - delate de las superficies foto sensibles de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) están dispuestas unas estructuras de pantallas periódicas (29; 129) y - las estructuras de pantallas periódicas (29; 129) están constituidas por zonas transparentes y zonas opacas dispuestas alternando al menos en la dirección de medición, cuya periodicidad es menor que la dilatación de los elementos detectores (27.1 - 27.4; 127.1 - 127.4) en la dirección de medición (x).