センサ、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法

摘要

【課題】結像の外乱を低減し、望ましくは最小限にするリソグラフィ装置で使用する改良型センサを提供する。【解決手段】液浸タイプのリソグラフィ装置で使用され、使用時に、液浸液（１１）に接触するセンサ（１００）は、センサのトランスデューサ（１０４）から温度調節デバイス（１０７）への第１の熱経路の熱抵抗が、トランスデューサから液浸液への第２の熱フロー経路の熱抵抗より小さくなるように構成されている。したがって、熱フローは優先的に温度調節デバイスへ向かい、液浸液へは向かわない。その結果、液浸液内で温度によって引き起こされる外乱は低減され又は最小限にされる。【選択図】図６