| 摘要 |
<p>本発明に係る流体漏れ検出器において、センサ膜（１０）が利用される、センサ膜は、に位置する支持膜（１３）と、支持膜の上面で第１のパターン化がなされた導電性電極膜（１１）と、支持膜の底面で第２のパターン化がなされた導電性電極膜と、を含む。実質的に円形の開口（１）は、第１の導電性電極膜（１１）内でパターン化される。開口のサイズは測定される流体の表面張力を生じる滴サイズに基づいて選択され、その結果、流体の滴の形成は開口（１）に完全にフィットする。支持膜（１３）およびその底面にある第２の導電性電極膜では、開口が穿たれ、その開口の中心点は第１の電極膜での開口（１）の中心点と同じである。支持膜（１３）および第２の電極膜に設けられた開口の直径は、第１の電極膜（１１）に設けられた開口（１）の直径よりも小さい。開口の直径は、測定される当該流体の流滴が流体の表面張力にもかかわらず支持膜（１３）の開口（１ａ）を貫通することが可能であるようなものである。これにより、第１および第２の電極膜間の絶縁抵抗が所定の閾値を下回る。絶縁抵抗のこの変化は、流体漏れ検出器の電子ユニットによって示される。</p> |
