ガス供給装置

摘要

ガス供給装置は、低温液化ガスの貯蔵タンク１から、ガス圧力と質量流量に関する要求が大きく変動する少なくとも１つの消費部８に制御された圧力で蒸発ガスを供給するガス供給装置であって、貯蔵タンク１に接続されて、液化ガスを貯蔵タンク１から輸送し液化ガスの圧力増大させる高圧ポンプ３と、高圧ポンプ３によって輸送される液化ガスの質量流量を調整するための調整部１９と、高圧ポンプ３に続く蒸発器６と、蒸発器６に続き、出力が消費部８に接続される圧力制御弁１０と、圧力制御弁１０の後方の蒸発ガスの圧力を制御変数とし、修正変数が圧力制御弁１０の圧力に作用する第１制御部１１と、高圧ポンプ３と圧力制御弁１０との間の圧力を制御変数とし、修正変数が調整部１９に作用する第２制御部１５と、制御部１１，１５の修正変数を結合して第１制御部１１の修正変数がさらに調整部１９に作用するようにする手段１７とを備える。