| 摘要 |
後方錯乱検査システムを使用して、物体を検査するための方法及び機構が提供される。一例示的実施形態において、機構は、放射線源、コリメータ、及び検出システムを備える。放射線源は、放射線を放射するように構成される。コリメータは、放射線源によって放射される放射線の一部を使用してビームを形成するように構成される。ビームは、物体の表面に対して向けられる。検出システムは、物体と衝突するビームに反応して形成される後方錯乱を検出するように構成される。検出システムの形状は、選ばれた形状の中へ変化するように構成される。【選択図】図３ |
