同期レーザパルスを用いたレーザ・アシステッド・デバイス・オルタレーション

摘要

【課題】空間分解能を向上するために時間分解能を利用するパルスレーザＬＡＤＡシステムが提供される。【解決手段】該システムでは、ＤＵＴクロックとレーザパルスとの同期を用いて、照射スポット内のＣＭＯＳペアを解像することが可能である。また、該システムは、単一フォトンＬＡＤＡをおこなうためのシリコンのバンドギャップより高いフォトンエネルギーを有するレーザ波長、又は、２フォトンＬＡＤＡをおこなうためのシリコンのバンドギャップより低いフォトンエネルギーを有する波長を用いて適用されることが可能である。レーザパルスのタイミングは、ＡＴＥのクロック信号と関連した２つのフィードバックループを用いて、又は一定パルスレーザ源に関してＡＴＥのクロック信号を合わせることによって、調整されることができる。【選択図】図３