异空间异尺寸基材对位方法

主权项

一种异空间异尺寸基材对位方法，包括下列步骤：利用在一第一等待空间中之校正后的二影像撷取单元及在一第二等待空间中之校正后的二影像撷取单元，分别撷取在该第一及第二等待空间中之不同尺寸之二基板之至少二实际局部图像；分别比对该二基板之标准局部特征区域内的特定标记或特定外形，并取得该二基板之至少二实际局部特征区域内的特定标记或特定外形；分别建立该二基板之实际座标系统，以合成一对位组装座标系统；比对该二实际座标系统中之二基板之特定标记或特定外形的座标值以取得第一组偏移量，并比对该二基板之尺寸以取得尺寸差量；利用该第一组偏移量及该尺寸差量，修正该二基板之其中一基板的特定标记或特定外形的座标值；比对该二实际座标系统中之二基板之其中该基板修正后的特定标记或特定外形的座标值与该二基板之其中另一基板的特定标记或特定外形的座标值，以取得第二组偏移量；将二基板之其中该基板移动至该第二组偏移量所补偿的位置；利用一第一预定移动量，使二基板之其中该基板由该第一等待空间移动到一对位组装空间中；以及利用一第二预定移动量，使二基板之其中另一基板由该第二等待空间移动到该对位组装空间中。