发明名称 电阻电容値之萃取方法、定义布局图案之方法,以及图案和萃取储存系统
摘要
申请公布号 TWI489303 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW102140427 申请日期 2013.11.07
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 喻秉鸿;林欣芸;黄正仪;王中兴
分类号 G06F17/50;H01L21/71 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种电阻电容值之萃取方法,使用图案匹配技术,并包括下列步骤:藉由一图案匹配工具,分析一布局,其中该图案匹配工具系用以划分该布局为复数个图案;藉由该图案匹配工具,判断该等图案之一第一个别图案未具有储存于一图案资料库中之一第一参考图案;藉由该图案匹配工具,判断该等图案之一第二个别图案已具有储存于该图案资料库中之一第二参考图案及其相关之复数个第二参考萃取参数;藉由一萃取工具,对该第一个别图案执行一萃取程序,以取得相关于该第一个别图案之复数个第一萃取参数;从该图案资料库,套用该等第二参考萃取参数至该第二个别图案;辨识该第一个别图案之一或复数个第一缝合节点,其中该等第一缝合节点之一者包括该第一个别图案之一第一外形上之一位置,而该等第一参考萃取参数之一或复数者系指派给该第一个别图案;以及辨识该第二个别图案之一或复数个第二缝合节点,其中该等第二缝合节点之一者包括该第二个别图案之一第二外形上之一位置,而该等第二参考萃取参数之一或复数者系指派给该第二个别图案。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号