搬运机器人的训练方法

主权项

一种搬运机器人的训练方法，属于在复数处理室间支撑须处理的基板的状态下，在同一平面内以旋转及伸缩动作而对于将上述基板搬运至所定位置的搬运机器人进行教示其搬运动作的搬运机器人的训练方法，其特征为：使用在上述处理室间搬运基板之际为检测基板所配置的至少1个检测手段，将上述搬运机器人予以搬运动作，以上述检测手段检测事先设于上述搬运机器人的作动部分即手臂的指标部的至少1个，从该检测位置，作成教示成为上述旋转及伸缩动作的至少一者的起点的基准位置，在上述起点的教示之前，以上述检测手段分别检测设于上述手臂的指标部的至少2个，而依据规定比较值修正组装搬运机器人的作动部分时的伸缩方向或旋转方向的偏移、及上述手臂相对于伸缩方向之倾斜，且上述检测手段为对于上述平面垂直投射光而配置之光学感测器，上述指标部的各者为由形成于上述手臂的1个贯通孔所构成。