离子源

主权项

一种离子源，包括：至少一电子枪，该电子枪包括：一电子源，其用以产生一电子束；一入口，其用以接收一气体；一电浆区域，其以至少一阳极及一接地元件来界定，该电浆区域适用于藉由电子撞击从经由该入口所接收之气体形成一电浆，其中以该电子束之至少一部分来维持该电浆；以及一出口，其用以输送(i)该电子束之至少一部分及(ii)该电浆所产生之离子中之至少一者。