结合三维及二维形貌之量测方法及装置

主权项

一种量测方法，用以量测一物体之三维及二维形貌，该物体之表面具有复数个物点(object point)，该量测方法包括：经由一投射装置，将一条纹图案投射至该物体之表面；藉由一多线光电取像系统，接收并储存一多线影像；使物体与一相移装置系统做相对移动，以透过该多线光电取像系统撷取多张相位光强影像，该相移装置系统包括该投射装置以及该多线光电取像系统；依据该些相位光强影像决定该些物点之相位值，并透过三角几何关系将该些相位值转换为该些物点所对应之高度，以产生该物体之三维形貌；以及依据该些相位光强影像重建一无相位变化之物体影像，该无相位变化之物体影像系呈现该物体之二维形貌尺寸。