发明名称 表面处理装置及方法
摘要
申请公布号 TWI489517 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW102116282 申请日期 2013.05.07
申请人 国立台湾大学 发明人 徐振哲;王志君;杨曜祯
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项 一种表面处理方法,包含下列步骤:提供一可挠中空物,该可挠中空物具有一中空部及一内壁,且该内壁定义出该中空部;提供一可挠电极组,其中该可挠电极组由一第一电极及一第二电极所组成;将该可挠电极组置于该中空部;以及透过该可挠电极组产生一电浆,以对该内壁进行一表面处理。
地址 台北市大安区罗斯福路4段1号