减速透镜

主权项

一种用于在离子植入器中使用的减速透镜，包括：抑制电极，包括上部部分以及下部部分，所述上部部分以及所述下部部分经配置使得离子束在其之间传输；第一聚焦电极以及第二聚焦电极，定位于所述抑制电极的所述上部部分与所述下部部分之间，所述第一聚焦电极以及所述第二聚焦电极经配置使得所述离子束在其之间传输；以及第一遮蔽件以及第二遮蔽件，所述第一遮蔽件配置在所述第一聚焦电极与所述离子植入器的终端台之间，所述第二遮蔽件配置在所述第二聚焦电极与所述离子植入器的所述终端台之间；其中所述第一遮蔽件以及所述第二遮蔽件保护所述第一聚焦电极以及所述第二聚焦电极的支撑表面免受由所述离子束产生的回流粒子的沈积，且其中所述第一遮蔽件以及所述第二遮蔽件的每一者的偏压经组态以控制所述离子束的形状。