抗腐蚀薄膜电阻之结构

主权项

一种抗腐蚀薄膜电阻之结构，其包含：一薄膜电阻；及一利用反应性溅镀(Reactive Sputtering)之方式设于该薄膜电阻上之保护层，系避免电阻因电蚀效应导致电气特性产生异变，且该保护层系包含至少一矽(Si)或钽(Ta)之镀膜靶材。